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刻蚀镀膜仪
设备名称

刻蚀镀膜仪

型号规格

Gatan682

技术指标

样品直径0-25.4mm,镀膜区域范围0-25.4mm,
镀膜速率0.05nm/秒,刻蚀区域范围0-7mm,
刻蚀速率3微米/小时

设备放置地点

机电楼406

联系人

李疆

联系电话

13521013742

电子邮件

lijiang@ustb.edu.cn

开放机时安排

周四8:30-17:00(提前一周预约)

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