设备共享
刻蚀镀膜仪
Gatan682
样品直径0-25.4mm，镀膜区域范围0-25.4mm， 镀膜速率0.05nm/秒，刻蚀区域范围0-7mm， 刻蚀速率3微米/小时
机电楼406
李疆
01062332444
lijiang@ustb.edu.cn
周四8:30-17:00(提前一周预约）
地址:北京市海淀区学院路30号北京科技大学机电楼208室
电话:62332444
邮编:100083
邮箱:laboratory@me.ustb.edu.cn
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