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激光干涉仪
设备名称

激光干涉仪

型号规格

RBTD-121205US

技术指标

线位移测量范围:40m;线位移分辨率:0.02um;
线性精度:0.5ppm;直线度测量范围±0.5mm;

设备放置地点

金切实验室

联系人

刘基盛

联系电话

15210623508

电子邮件

liujisheng@ustb.edu.cn

开放机时安排

周一至周五 8:00-17:30

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